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    設備介紹
    GNX300B
    l日本OKAMOTO生產
    l減薄尺寸:8”~12”
    l極限減薄厚度:100um
    l轉速:0~3600rpm
    l最小移動量:1um
    l單片誤差:10um
    l片間誤差:±5um
    VG502-MKII 8B
    l日本OKAMOTO生產
    l減薄尺寸:5”~8”
    l極限減薄厚度:100um
    l轉速:0~3600rpm
    l最小移動量:1um
    l單片誤差:10um
    l片間誤差:±5um
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